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2026-06

星期 六

广州高温磁控溅射工艺 广东省科学院半导体研究所供应

广东省科学院半导体研究所在高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术的国产化应用中取得突破。其开发的HiPIMS系统峰值功率密度达到10⁷W/m²,使金属靶材的离化率提升至70%以上,制备的(Cr,Al)N涂层硬度较传统直流磁控溅射提

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2026-06

星期 五

广州真空磁控溅射设备 广东省科学院半导体研究所供应

磁控溅射是一种利用磁场控制离子束方向的溅射技术,可以在生物医学领域中应用于多个方面。首先,磁控溅射可以用于生物医学材料的制备。例如,可以利用磁控溅射技术制备具有特定表面性质的生物医学材料,如表面具有生物相容性、抑菌性等特性的人工关

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2026-06

星期 五

广州磁控溅射特点 广东省科学院半导体研究所供应

磁控溅射技术支持涵盖设备调试、工艺优化及问题诊断等多方面内容,帮助用户解决磁控溅射过程中遇到的技术难题。技术支持团队通过分析溅射过程中的粒子行为和膜层形成机制,指导用户调整溅射参数,提升膜层质量和工艺稳定性。在实际应用中,溅射设备

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2026-06

星期 五

广州磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应

在交通领域的节能应用中,该研究所的磁控溅射技术实现了突破性进展。其开发的耐磨减摩涂层通过磁控溅射工艺沉积于汽车发动机三部件表面,利用高致密性薄膜的润滑特性,使部件摩擦系数降低25%,进而实现整车油耗减少3%的效益。该涂层采用Cr-

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2026-06

星期 五

广州真空磁控溅射步骤 广东省科学院半导体研究所供应

针对柔性电子器件的低温制备需求,研究所开发了低温磁控溅射工艺技术。通过优化溅射功率与工作气压参数,在室温条件下实现了ITO透明导电薄膜的高质量沉积,薄膜电阻率低至1.5×10⁻⁴Ω・cm,可见光透射率超过90%。创新的脉冲偏压辅助

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