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2025-09
星期 二
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广州热压晶圆键合外协 广东省科学院半导体研究所供应
研究所将晶圆键合技术与第三代半导体中试能力相结合，重点探索其在器件制造中的集成应用。在深紫外发光二极管的研发中，团队尝试通过晶圆键合技术改善器件的散热性能，对比不同键合材料对器件光电特性的影响。利用覆盖半导体全链条的科研平台，可完
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2025-09
星期 二
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广州等离子体晶圆键合加工 广东省科学院半导体研究所供应
晶圆键合通过分子力、电场或中间层实现晶圆长久连接。硅-硅直接键合需表面粗糙度<0.5nm及超洁净环境，键合能达2000mJ/m²；阳极键合利用200-400V电压使玻璃中钠离子迁移形成Si-O-Si共价键；共晶键合采用金锡合
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2025-09
星期 二
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广州硅熔融晶圆键合加工平台 广东省科学院半导体研究所供应
在晶圆键合技术的设备适配性研究中，科研团队分析现有中试设备对不同键合工艺的兼容能力，提出设备改造的合理化建议。针对部分设备在温度均匀性、压力控制精度上的不足，团队与设备研发部门合作，开发了相应的辅助装置，提升了设备对先进键合工艺的
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2025-09
星期 二
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广州微纳光刻电子束曝光加工厂 广东省科学院半导体研究所供应
电子束曝光实现智慧农业传感器可持续制造。基于聚乳酸的可降解电路板通过仿生叶脉布线优化结构强度，6个月自然降解率达98%。多孔微腔湿度传感单元实现±0.5%RH精度，土壤氮磷钾浓度检测限达0.1ppm。太阳能自供电系统通过分形天线收
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2025-09
星期 二
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广州纳米器件电子束曝光工艺 广东省科学院半导体研究所供应
对于可修复的微小缺陷，通过局部二次曝光的方式进行修正，提高了图形的合格率。在6英寸晶圆的中试实验中，这种缺陷修复技术使无效区域的比例降低了一定程度，提升了电子束曝光的材料利用率。研究所将电子束曝光技术与纳米压印模板制备相结合，探索
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